半导体设备预测性维修技术研究

邓涛

摘要：预测性维修属于维修领域长期探究的关键问题，本文从常规预测维修要点着手，分析对比了修复性检修、防范维修与预测性检修的优点及缺点，并详细介绍了半导体设施预测性维修方法。

关键词：半导体设施；预测性检修；方法分析

随着现代化科技的不断进步，生产工艺设备也日趋先进，设备本身构造逐渐繁琐，进而给半导体设备设施的维修方法带来了巨大的挑战，同时对半导体设备维修者的专业素养提出了越来越高的要求。文章重点介绍了半导体设施的故障后检修与防范性维修及其预测性维修方法中心新趋势，也是一种全新的维修形式，相较于以往的其他维修途径，有诸多优势及可取之处，就长远方面来说，其发展空间及实用性很大。

1、维修形式的发展

根据设备状态及维修时机，能够把维修形式分成故障前维修与故障后维修，根据维修依据的区别，故障前维修也能分成防范性维修及预测性检修。

修复性检修也叫做时候维修，属于一种“有故障才产生维修”的手段，其仅仅以设施是否完整和是否可以使用为主的维修，仅在设施部分和所有故障后再复原其初始状态，即用坏后再维修，是非计划性检修。

防范性维修也叫做定时维修，主要以时间为主的维修，其结合生产计划及经验，结合预计的时间间隔展开停机检测、调换元部件，以防范受损、继发性损坏亏损。该种维修方式也是当前广泛采取的计划维修和定时维修，像大修、中修以及小修等。

预测性检修是以状态为主的维修，在设备运行中，对其重要部位展开持续的状态检查与故障判断，判断设施所处状态，估测设备状态和今后的发展方向。根据装置的状态发展方向及可能的故障形式，提前建立预测性维修方案。明确设备要维修的时间、要点、方法以及所需的技术及物资支撑。预测性检修集装置状态检查、故障判定、故障估测、维修决策支撑与维修工作为一体，属于一种全新的维修手段。

2、预测性检修的作用

预测性检修与以往的维修方式不一样，在控制半导体设施时是一个十分关键的环节，尽管在一定程度上来说，当前其并无法替代定时与定期检修，但当前能够检测设备运行状态，及早掌握相关资料及工作说明。

该种监测与实时监控方式针对流水线工作的产品而言是十分重要的，由于其在正常运行阶段，一旦某个失误或是不稳定性因素导致该设备不能应用时，则生产全过程就会停止，唯有检测出根本问题，排除故障后，才能正常运转。在定时定量调整设备的基础上，还要重视利用监控技术，针对较为核心的设备能够展开实时检测，采取预测行维修，就能够贯彻执行并实施防范性检修维修的依据及范围。由内部阻断隐患进而防止严重损坏半导体装备。

实时监测半导体设施，既有助于维修现代化装备，满足流水线工作需要，而且能够逐渐降低故障率，节省了大量的维修支出，如此更有助于大家贯彻落实防范性维修方法的基本对策及措施。

3、半导体设施维修完善策略

（1）遵循防范为主，防治统一的原则，从本质上断绝装备故障产生的几率，最大程度上降低设备故障出现的可能性。

（2）从装备技术及技术防护的规定入手，编制比较完整规范的文件。

（3）要求相关部门制定健全的规章制度，提升维修人员技术水平。

（4）相关管理者确定管理目标，形成科学的理念，遵循全面协调长远发展，在遵守安全第一的基础上，更好更快的推动经济建设。

（5）针对生产阶段流水线上有些重要设备进行监控与检测，监控与检测针对所需的信息，比如温度、压强真空以及电流、电压等诸多装备参数，能够以监控来及时高效、精准无误的掌握流水线生产全过程的所有装备工作状态。相关管理者与相关专业主体需要及时排查系统潜在的故障。

4、半导体设施预测性检修要点

从当前的情况而言，预测性检修是经过实时监控，并结合状态监测来调节，相关监控装备是结合所设置的时间来定时监测装备状态，由此保障设备正常运行与流水线生产全过程的时效性。若产生故障就会传出警报；若传出警报，就表示流水线工作的某个环节存在问题，如此就要求相关技术人士立即查清故障出现位置，装备是否可靠运转，是否存在故障，或者是否有产生故障的可能性及潜在风险，结合具体状况再合理分配维修任务。

（1）实行条件

若要在半导体装备管理中融入预测性维修方法，装备维修者还要符合计划应用需要。首先，伴随工业化的推进，企业流水线制造对装备的要求很高，因此，维修者需要深入了解装备维修。而且，当下的半导体装备大都采取了可编程管控语言、高真空离子控系统、机电一体化系统与微机控制系统等，因此维修者需要大体了解半导体装备的操控，便于在进行维修工作时，防止流水线生产遭到影响。另外，预测性维修的过程比较乏味，要求维修者认真开展各项工作，方可令装备潜藏的故障问题得到处理。因此，设备维修者需要具备坚韧不拔与爱敬精神，这样可以保证维修工作正常开展。同时，预测行维修要求以预测性监测信息为依据，故维修者还要建立半导体装备线上监测计划，对流水线上的重要设备展开检测，而且得到温度、电压、电流以及真空等装备参数，便于全面掌握半导体装备的工作状态。

（2）实施原则

在使用预测性维修方法时，维修者应以防范为主，并形成最大限度降低设备故障出现率的目标。另外，维修者要遵守装备维修规范，即遵守装备防护标准、技术指标与维修工作标准，便于开展规范化工作。最后，为科学使用预测性维修方法，维修者需要制定预测性维修控制体系，并强化基层管理，进而及时获取各项管理数据，以实现装备的高效控制。

（3）针对流水线上的所有设备都编制装备台账账本，记下所有装备的故障问题出现时间，维持时间，维修方式与维修结果，如此就像医院看诊的病历，保证对以往记录做好备案，还可以帮助大家顺利找出装备的故障与问题所在。

（4）详细记录设备稳定运行时的各项动态参数，比如变化范围，针对压力、压强的把控等，应当每日安排专职人士对其展开检测并记录备案。按照其结果明确设备是否有状态异常或是故障可能性，接着相关技术人士与专业员工分析与处理信息，且对可能产生故障的装备进行维修，这样既提升了工作效率，还极大缩短了时间，一举多得。相关维修工作这也要全面掌握其专业知识，要查清故障装备的内部运行状况并找到问题，有目的性的对所发现的问题进行适当调整，维修结束后还要及时考量怎样加强预防措施并进行总结、反思，详细记录备案，如此也有助于维修工作的顺利开展。

5、结束语

综上所述，简单依靠人工来分析与排查装备故障，既消耗了巨大的人力、物力，并且因为人工监控间断与不精准，将会遗漏很多核心参数。若要对半导体装备展开预测性维修，实现真正规范的监测，还要有技术的支撑与帮助，借助先进技术设施实时监测生产流水线上的关键装备，保障生产生活的正常进行。而且，要时刻注意先进科技的发展，为国内半导体装备的预测性检修方法做出一定贡献。

参考文献：

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