20kV固态Marx脉冲调制器研制

阐述了20kV固态Marx脉冲调制器的设计原理、结构特点及驱动控制方法。该系统由8级模块串联而成，每级模块的储能电容、高压充电和固态开关驱动供电均采用高压硅堆隔离，Marx模块采用两只独立控制的高压绝缘栅双极型晶体管（insulatedgatebipolartran-Sstor，IGBT)对模块的储能电容实现充电和放电。IGBT驱动电路采用高压硅堆隔离供电、光纤传输触发脉冲和高性能IGBT驱动模块TD350设计构成。驱动电路具备完善的欠压、过流和过压保护功能。Marx模块采用插拔式结构，维护快捷简便。脉冲源在无强化散热措施条件下，输出方形高压脉冲幅度大于20kV，脉冲宽度为10ps，脉冲前后沿均为300ns，重复频率可达1kHz。