Se超薄层钝化Si（100)表面与金属Al、Pt的接触特性

采用超高真空气相沉积系统外延硒（Se)超薄层钝化Si(100)表面，研究其与金属铝（A1)、铂（Pt)的接触特性。对于A1与Se钝化后的Si接触样品，其肖特基势垒高度（SBH)值为0.2eV，相比于HF处理的样品，SBH降低了一半；随着退火温度从200P升至500P，SBH值逐渐升高至HF处理的样品的SBH值。而对Pt与Se钝化的Si接触样品，未退火时电流电压特性基本与HF处理的样品一致，然而快速热退火后，Se钝化的样品基本保持不变，而HF处理的样品反向偏置电流迅速增大。通过拟合金半接触SBH与金属功函数的关系，得到线性关系的斜率为：=0.41，说明硒超薄层可以降低Si(100)表面与金属接触费米钉扎效应。