大口径干涉检测测量的不确定度

高功率固体激光装置中使用的部分大口径光学元件的需求精度已接近或超过了干涉仪检测极限，因而对大口径干涉检测的测量不确定度提出了更高的要求。针对大口径光学元件面形的检测准确性问题，对干涉检测的测量不确定度开展了研究，包括如下几个方面：