金刚石膜加工技术进展

CVD金刚石具有诸多优异性能和特点，在广泛的应用前景。而加工技术是伴随沉积技术的发展而发展起来的。金刚石膜加工技术主要包括切割、成型，研磨抛光和钎焊技术。本文介绍了近年来CVD金刚石加工技术的主要进展，以及有关应用。