高Q平面环形微腔的制备以及测试

采用MEMS工艺制备平面微盘腔，再通过二氧化碳激光熔融其表面形成为环状结构，通过三维形貌微系统分析仪、原子力显微镜分别测试了其外部尺寸和表面粗糙度，实验结果表明，锥形光纤近场耦合测得微腔品质因素为4．8×10^5，耦合效率在95％以上，因此激光回流微的方式在得到了新的结构的同时保证了光腔的性能。