简介:摘 要 : 电子级多晶硅金属杂质含量是评价其产品质量的重要指标之一,其杂质含量的高低直接影响下游晶圆制造产品质量,所以对其制造过程的金属杂质含量的控制至关重要,本文主要从制造无金属污染的自动设备的技术指标和设计难点入手,研究了多晶硅表面金属污染的成因,然后分析了控制金属污染的技术,设计了无金属污染自动化设备。最后,为金属杂质含量的控制提供了重要的技术及设备。
简介:摘要:本研究致力于探寻电子级双氧水的生产方法和流程改进,通过精细调整与优化各种工艺参数,确保电子级双氧水的生产过程高效且稳健。针对材料选择、反应环境管理、纯度增强等方面进行了科学的工作流优化,并详尽探讨了各个工艺参数如何影响最终产品质量。在经过实地实证及工艺参数改善后,成功找到一种可制得高纯度且高稳定性电子级双氧水的制备方案,为电子领域提供了有力原材料支撑。
简介:摘要:本论文探讨了电子工程中集成电路设计与系统级测试技术的发展趋势。通过对当前技术挑战和未来研究方向的分析,揭示了集成电路设计和系统级测试在电子领域的重要性和发展方向。