简介：摘 要 ： 电子级多晶硅金属杂质含量是评价其产品质量的重要指标之一，其杂质含量的高低直接影响下游晶圆制造产品质量，所以对其制造过程的金属杂质含量的控制至关重要，本文主要从制造无金属污染的自动设备的技术指标和设计难点入手，研究了多晶硅表面金属污染的成因，然后分析了控制金属污染的技术，设计了无金属污染自动化设备。最后，为金属杂质含量的控制提供了重要的技术及设备。

简介：摘要：随着光伏产业的蓬勃发展，国内多晶硅行业短短十几年就达到了产量世界第一，生产成本世界先进。在多晶硅行业规模经济时代，加上电价政策和光伏补贴因素的影响，各多晶硅厂商进入加速淘汰阶段。然而，在高质量电子多晶硅的生产中，由于缺乏可靠的技术支持，他们一直进展缓慢。基于此，以下对结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产控制要点进行了探讨，以供参考。

简介：摘要：随着光伏产业的蓬勃发展，国内多晶硅行业短短十几年就达到了产量世界第一，生产成本世界先进。在多晶硅行业规模经济时代，加上电价政策和光伏补贴因素的影响，各多晶硅厂商进入加速淘汰阶段。然而，在高质量电子多晶硅的生产中，由于缺乏可靠的技术支持，他们一直进展缓慢。基于此，以下对结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产控制要点进行了探讨，以供参考。

简介：摘要：电子多晶硅是制造半导体硅片最基本、最重要的原材料之一，被称为电子信息产业的“粮食”。其纯度需要达到11N。如此高的纯度对制备技术、检测技术和质量管理提出了极高的要求。长期以来，电子级多晶硅的制备技术一直被美国、德国、日本等西方国家封锁。因此，国内使用的电子级多晶硅几乎完全依赖进口，存在被“卡住”的风险。近年来，我国企业如青海黄河上游水电、江苏新华等在电子多晶硅方面取得了一些技术突破，但仍存在发展瓶颈。基于此，对电子级多晶硅生产技术进行研究，以供参考。

简介：摘要：电子级多晶硅在当今的工业生产中有着举足轻重的地位。因此，电子级多晶硅的生产厂家必须提高产品的品质，提升生产效率。从目前国内的电子多晶硅技术发展现状来看，还存在着许多问题，亟待改进相关的生产工艺，这样才能更好地推动我国电子行业稳步发展，提高企业的生产效率。基于此，文章重点分析电子级多晶硅生产的关键技术，及生产质量的影响因素，以供参考。

简介：摘要：多晶硅是电子及光伏产业广泛使用的重要半导体和光电子材料。西门子现代化方法是多晶硅生产的主要技术，占多晶硅产量的80%以上。在多晶硅生产过程中，三氯硅合成(TCS)、三氯硅、四氯化硅冷氢化(STC)以H2的形式生成不同量的硅。文献表明，氯硅烷含有以STC为主的硅烷、以Si2Cl6为主的硅烷、以Si3Cl8为主的硅烷、少量的硅粉和金属氯化物，其中以Si2Cl6为主的硅含量最高，通过工艺对Si2Cl6进行重组分离气相色谱分析，得出139-142℃沸腾溶液中STC冷氢和TCS计算结果表明，约84.03%的SICL6来自STC冷加氢，其余15.97%的SICL 6来自TCS+H2还原过程。虽然许多学者在分析低多晶硅的组成方面做了大量的工作，但大部分都集中在高附加值的Si2Cl6上，缺乏系统的深入分析。

简介：摘 要：在工业生产中，对于电子级多晶硅的需求量是非常大的，其质量对电子产品的电路级功能、二极管功能等有着重要的影响。所以，想要保证工业生产中电子产品的质量，就需要确保电子级多晶硅产品的质量。由此，论文先对电子级多晶硅生产工艺做了简要分析，进而深入研究与分析了现阶段电子级多晶硅的生产技术，以供借鉴。

简介：摘要：电子级多晶硅在当今的工业生产中有着举足轻重的地位。因此，电子级多晶硅的生产厂家必须提高产品的品质，提升生产效率。从目前国内的电子多晶硅技术发展现状来看，还存在着许多问题，亟待改进相关的生产工艺，这样才能更好地推动我国电子行业稳步发展，提高企业的生产效率。基于此，文章重点分析电子级多晶硅生产的关键技术，及生产质量的影响因素，以供参考。

简介：  摘要：电子级多晶硅是一种高纯的硅材料，因其纯度要求达到11N以上，因此要比光伏级多晶硅纯度至少提高2-3个数量级，两者之间存在显著的品质差异。突破电子级多晶硅核心技术，关键还是技术创新，优化改进生产技术和质量控制技术，在产品生产制造、装置稳定运行等各环节的过程控制上做到精益求精，并通过成百上千次的科学实验，才能生产出合格、适销对路的电子级多晶硅产品，实现电子级多晶硅国产化的战略目标。

简介：摘要：电子级多晶硅是一种高纯的硅材料，因其纯度要求达到11N以上，因此要比光伏级多晶硅纯度至少提高2-3个数量级，两者之间存在显著的品质差异。突破电子级多晶硅核心技术，关键还是技术创新，优化改进生产技术和质量控制技术，在产品生产制造、装置稳定运行等各环节的过程控制上做到精益求精，并通过成百上千次的科学实验，才能生产出合格、适销对路的电子级多晶硅产品，实现电子级多晶硅国产化的战略目标。

简介：摘要： 由于社会经济的持续发展，我国在电子级多晶硅工艺技术方面同样获得了高效发展，其工艺技术不断成熟。保障电子级多晶硅产品的质量能够有效强化市场竞争力，是各企业极为重视的一项问题。文章针对目前影响电子级多晶硅质量的一些因素开展了具体分析，使其能为电子级多晶硅生产提供有效的参考。

简介：2009年12月22日，受国家发展改革委委托，河南省发展改革委组织专家对洛阳中硅高科技有限公司承担的国家高纯硅材料高技术产业化专项“大型高效还原技术生产电子级高纯硅材料高技术产业化示范工程”进行了验收。验收委员会听取了项目建设、试生产情况的汇报，审查了项目验收材料，进行了现场实地勘察，经过质疑和讨论，专家委员会一致认为：中硅高科集成了自主开发的“高效提纯技术、大型低温氢化技术和高效加压24对棒还原炉技术”，

简介：摘要：集成电路产业是国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业，推动集成电路产业链上下游健康发展，是实现国家强盛的必由之路。根据我国国民经济“十四五”规划，国家对集成电路行业的支持政策已进入到“举国体制大力发展”的地步。半导体级多晶硅作为集成电路产业链中最上游的原材料，是产业的基础粮食，国家已出台各项政策，支持和鼓励企业技术研发及生产应用于集成电路领域的半导体级多晶硅产品，半导体级多晶硅材料早已被国家列入《电子专用材料制造》产业。

简介：摘要：集成电路产业是国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业，推动集成电路产业链上下游健康发展，是实现国家强盛的必由之路。根据我国国民经济“十四五”规划，国家对集成电路行业的支持政策已进入到“举国体制大力发展”的地步。半导体级多晶硅作为集成电路产业链中最上游的原材料，是产业的基础粮食，国家已出台各项政策，支持和鼓励企业技术研发及生产应用于集成电路领域的半导体级多晶硅产品，半导体级多晶硅材料早已被国家列入《电子专用材料制造》产业。基于此，对半导体级多晶硅隐性指标进行研究，以供参考。

简介：摘要：电子级多晶硅是推动我国电子类行业以及新能源类行业持续前进的基础构成材料。截至2019年，全球的电子级多晶硅产能已经超过了31000吨，但是我国的电子行业中所采用的这类型基础原料依然需要依赖进口。电子级多晶硅产品对于质量的把控要求是极为严格的，目前，国内采用的生产手段主要有硅烷热分解以及三氯氢硅氢还原方式这两种类型，而全球基本上所有的多晶硅企业都会选择三氯氢硅氢还原的生产工艺来制种电子级多晶硅产品，目前国内也开始逐步与国际市场相互接轨，选择了较为常见的工艺手段生产该类型多晶硅原材料。本文主要是分析了采用三氯氢硅氢还原工艺制作多晶硅的过程中影响多晶硅品质的因素，并且就电子级多晶硅的生产工艺概况进行了探讨，希望能够为提升我国电子级高纯多晶硅生产工艺水平提供参考意见。

简介：多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅可作拉制单晶硅的原料，多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。例如，在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面，远不如单晶硅明显；

简介：摘要：多晶硅是集成电路和太阳能光伏发电的关键原材料。多晶硅在诸多领域被广泛的应用。目前改良西门子法以其节能、节省物耗、减少污染等优点被广泛应用于多晶硅生产中。多晶硅生产厂家现在大多只能生产出太阳能级多晶硅，而对电子级多晶硅的生产一直存在着技术瓶颈。本文就电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术展开探讨。

简介：

简介： 摘要：电子级多晶硅在当今的工业生产中有着举足轻重的地位。因此，电子级多晶硅的生产厂家必须提高产品的品质，提升生产效率。从目前国内的电子多晶硅技术发展现状来看，还存在着许多问题，亟待改进相关的生产工艺，这样才能更好地推动我国电子行业稳步发展，提高企业的生产效率。基于此，文章重点分析电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化，以供参考。

简介：摘要：目前，电子级多晶硅已成为现代产业的重要组成部分。这就要求各大厂商不断改进其质量和改进产能。从目前国内的电子多晶硅技术发展现状来看，还存在着许多问题，亟待改进相关的生产工艺，这样才能更好地推动我国电子行业稳步发展，提高企业的生产效率。基于此，文章重点分析电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化，以供参考。