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标准镜调整和面形误差对干涉测量的影响

简介：采用Zemax光学设计软件进行干涉模拟,建立传统菲索干涉仪结构;对标准镜调整和面形误差对测量结果的影响做出模拟分析,得出对标准镜引入倾斜将会带来像差;分析了标准镜前后表面面形误差对测量结果的影响。
标签：菲索干涉仪标准镜波像差

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