简介：论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的研究进展及

简介：TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限

简介：微细加工技术已成为涉及机械、电子、化工、材料等多种学科的现代高新技术，受到越来越多的关注。文章主要介绍几种微细加工技术的研究现状。

简介：TN305．72005032365硅基微结构制作及其在微分析芯片上的应用=Fabricationofsilicon-basedmicrostructuresandtheirapplicationinmi-crochipsE刊,中]／孙洋(清华大学深圳研究生院．广东,深圳(518057)),钱可元…∥半导体光电．-2004,25(6)．-477-479,483基于一种新的湿法刻蚀条件和新型的凸角补偿结构,以KOH溶液为腐蚀液,对单晶(100)Si材料进行了湿法刻

简介：摘要：本文主要介绍了基于数控走心机的微细加工技术，包括其优点、不足及未来发展方向。该技术具有高精度、高效率、易于自动化生产等优点，但加工难度大，设备成本高等不足之处。未来，结合新型材料和前沿技术进行优化将使得微纳器件制造更加精确和可靠。

简介：TN30597010636大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测-等离子发射光谱法=Insitumonitoringetchprocessandend-pointforLSIbytheplasmaemis-

简介：TN30595021329相移掩模的计算机模拟方法研究[学,中]/沈锋;中科院光电技术研究所.—62页.—1994.6研究了亚微米微细光刻技术的一个热门领域—相移掩模提高分辨率.从Hopkins理论出发,导出了一般情况下的二维物体的部分相干成像的简化强度

简介：微细切削技术是当前先进制造技术领域中的一个重要发展方向，微细切削的目的是通过机械切削的方式实现微小结构的精密成形。在微细切削过程中，刀具的姿态调整是确保微细切削顺利实施的一个重要环节。以微细车削中的刀具姿态微调为目标，提出了以图像处理为基础的在线检测方案和以斜锲机构为基础的刀具姿态微调技术方案。

简介：摘要：在机械制造行业中，最为关键的部分是机械加工设备，其本身的性能、运转效率同稳定性间有着直接的关联，并且会对企业产品的质量和经济效益产生直接的影响。因此，需要考虑到保障性的维护，这样才能保障机械设备始终能够处于最佳状态下，从而满足实际的发展需求。

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简介：摘要：随着微小型零件的需求日益迫切，微细铣削技术因其精度高、成型能力强等优势受到越来越多的关注。零件的表面质量关系到其机械性能与装配性能。因此，对微细铣削加工后零件的表面质量的研究，近年来已经成为机械制造领域中的重要课题。本文综述了微细铣削加工过程中主轴转速、进给量、轴向切深和径向切深对表面质量的影响，并将微细铣削表面质量按照表面粗糙度、残余应力、加工硬化、毛刺四个方面展开论述。

简介：日本的产业技术综合研究所（产综研）于2008年4月1日成立了“纳米电子元件研究中心”。目的是推进半导体元件的微细化，以及开发取代CMOS晶体管微细化的、基于新原理的技术。

简介：摘要蓝宝石本身属于氧化物的多功能晶体，其具备特有的理化性能与光学特性。近些年以来，蓝宝石晶片正在被全面运用于多种多样的领域，例如光电子与其他有关领域。蓝宝石晶体可以被用作衬底片的首选材料，同时还能用来制造二极管等，这是由于此类宝石晶片含有氮化镓。通过运用全方位的表层加工技术，可以确保蓝宝石晶片符合超光滑的纳米级加工度，进而显著优化了蓝宝石晶片具备的综合性能。

简介：微细结构在工程中的应用逐渐增多，常规的切削加工方法及手段无法直接实现微细结构的加工。针对一种特定微细结构，研究了其车削加工工艺技术。

简介：摘要：本文深入研究了精密加工技术在材料微纳米结构制备中的应用。通过对精密加工技术的基本原理、发展历程以及在金属、半导体和高分子材料体系中的具体应用案例进行详细探讨，总结了其在微纳米结构制备中的显著优势和面临的挑战。精密加工技术以其高精度、高效率的特点，在微纳米结构制备中发挥着关键作用，有望推动材料科学领域的创新。文章还展望了未来的发展方向，强调了多学科交叉融合对于实现更为复杂、精细微纳米结构制备的必要性。总体而言，精密加工技术为微纳米结构材料的研究与应用提供了重要的技术支持，为未来科学研究和工业应用开辟了新的前景。

简介：美国空军科研办公室出资支持罗切斯特大学的研究人员研发了一种称之为飞秒激光脉冲的超短、超强光束，这种光束作用在金属表面会形成纳米结构和微细结构。当用这种光束照射电灯泡的灯丝时，灯丝的结构能够神奇地被改变，以致能发出高效的光。

简介：电火花加工过程中，间隙内进行能量转换，间隙状态的优劣直接影响脉冲电能的转换效果，在微细电火花加工过程中这种影响更加明显。同时，这也是评判放电加工是否顺利进行的主要标准。在科研生产过程中，需要对放电状态，特别是微细电火花放电加工过程中的波形进行研究，因此，组建了一套用于采集放电波形、检测放电状态的放电监测系统。

简介：摘要：本文研究了机械加工中微细尺寸特征的检测与测量方法。随着微纳技术的发展，对微细尺寸特征的要求越来越高，传统的检测设备和测量方法已经不能满足需求。文章介绍了常用的检测设备如光学显微镜、扫描电子显微镜和原子力显微镜，并探讨了直接测量法、光学投影仪和光干涉仪等测量方法。

简介：摘要：为提升矿物加工效率，加速研究进程，获得更多成果。本文对纳米技术在矿物加工中的应用进行论述。首先，分析了纳米技术的基本概念。而后，对纳米粒子浮选、纳米气泡浮选、纳米过滤、在选矿设备配件中的矿物加工等方面的应用进行解读。