简介:摘要:近年来,随着工业领域如微型机械制造、集成电路制造、生物医疗等众多领域的不断发展,与之相关的设备对精度的要求也越来越高。而被誉为半导体工业皇冠上明珠的光刻机,集合了高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、自动化、图像识别等多项顶尖技术,是超精密加工技术的集大成机器。其中,运动台系统用于定位晶圆做精细运动,主要包括搬移、掩膜、对位、焦距校准等,是光刻机最为核心的分系统之一。在光刻过程中,要求扫描和定位精度要达到纳米级,则需要同时追求运动指标和精度指标。因此,本论文针对光刻机运动台系统,从复合控制、同步控制以及主动减振控制三个角度进行控制方法的研究,以提升光刻机的曝光质量和产率。
简介:[摘要]: 体育教学与训练中,如何掌握好负荷的强度,负荷量,时间及次数之间的关系,合理科学地安排运动量,以达到最佳锻炼效果。本文结合实践论证,提出一套行之有效的方法。
简介:摘要:现阶段,我国社会发展迅速,随着生活水平的不断提高,全球垃圾生产增长速度日益增高,环境污染逐步被高度重视。节能环保、生态保护已然成为世界各国关心的问题。目前生活中垃圾分拣大多数依靠耗时费力的人力分拣,方式单一。因此,智能化垃圾分拣的呼声日益提高。垃圾是人们生活起居和生产制造中产生的对环境具备污染的废料。若不妥善处置,既不利于城乡卫生清洁,又容易引起环境恶化,对社会带来不良影响。在如此紧迫的环境下,通过对目前市场上垃圾分拣机器人的调研和分析,设计了智能垃圾分拣机器人,旨在针对传统垃圾分拣的短板,使用人工智能技术完成小型垃圾的分拣任务。
简介:摘要:管道检测机器人是针对输油、气等工业管道的检测、喷涂、接口焊接、异物清理等维护检修作业所研制的一种特种机器人,它综合了智能移动载体技术和管道缺陷无损检测技术。这类机器人能进入人所不及、人力所限的复杂多变的非结构管道环境中,通过携带的无损检测装置和作业装置,对工作中的油气管道进行在役检测、清理、维护,以保障管道的安全和畅通无阻地工作。特别是对穿越河流、铁路、道路的特殊管道或埋地管道的重要部位进行有选择的检测时,管道检测机器人具有独特的优势。因此,开展管道检测机器人的研究具有重要的科学意义和明显的社会经济效益,得到了世界各国的高度重视。