简介:摘要近年来,ROV运动控制问题得到了业内的广泛关注,研究其相关课题有着重要意义。本文首先对相关内容做了概述,分别从模糊控制、神经网络控制以及专家控制等多个角度与方面,就ROV运动控制技术展开了探讨,并结合相关实践经验,就水下机器人的发展趋势展开了研究,阐述了个人对此的几点看法与认识,望有助于相关工作的实践。
简介:摘要:近年来,随着工业领域如微型机械制造、集成电路制造、生物医疗等众多领域的不断发展,与之相关的设备对精度的要求也越来越高。而被誉为半导体工业皇冠上明珠的光刻机,集合了高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、自动化、图像识别等多项顶尖技术,是超精密加工技术的集大成机器。其中,运动台系统用于定位晶圆做精细运动,主要包括搬移、掩膜、对位、焦距校准等,是光刻机最为核心的分系统之一。在光刻过程中,要求扫描和定位精度要达到纳米级,则需要同时追求运动指标和精度指标。因此,本论文针对光刻机运动台系统,从复合控制、同步控制以及主动减振控制三个角度进行控制方法的研究,以提升光刻机的曝光质量和产率。