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  • 简介:摘要:晶圆湿法清洗工艺是半导体制造中较为关键的一环,清洗后晶圆表面的洁净度取决于清洗设备的性能。湿法腐蚀清洗设备内部废气的排放对晶圆表面的洁净度、操作人员安全、设备安全及生产环境具有重要的影响。本文基于Fluent有限元数值分析平台,建立了设备内部排风的流体场数值分析模型,对其进行了瞬态流场流动分析;研究了排风区域宽度、排风孔长度、排风孔与槽体顶部高度差等因素对设备内部废气流动状态及槽体上方D点处的风速和风压的影响进行了分析,并优选出了最佳排风结构参数。本文可对全自动湿法腐蚀设备的排风分析提供扎实的理论依据。

  • 标签: 全自动湿法腐蚀清洗设备 Fluent 流场数值分析 废气排放
  • 简介:摘要:随着半导体产业的快速发展,洁净室作为半导体生产的核心环境,其机电设备的设计与安装质量对于产品良率和生产效率具有重要影响。本文首先介绍了半导体洁净室的基本概念及其重要性,随后详细分析了洁净室机电设备设计的关键要素,包括设备选型、材料选择、工艺流程布局等。在设备安装方面,本文探讨了安装前的准备工作、安装过程中的质量控制要点以及安装完成后的验收与维护。最后,结合工程实例,总结了洁净室机电设备设计与安装中的常见问题及解决方案,并提出了相应的优化建议。

  • 标签: 半导体 洁净室 机电设备 设计与安装 关键点分析
  • 作者: 刘雨
  • 学科: 建筑科学 > 市政工程
  • 创建时间:2023-09-08
  • 出处:《城镇建设》 2023年第10期
  • 机构:2023年6月27日,第二十一届中国国际半导体技术大会(CSTIC)在上海国际会议中心正式落幕。CSTIC由SEMI(国际半导体产业协会)和IEEE(美国电气电子工程师学会)联合举办,是中国规模最大、最全面的年度半导体技术盛会,也是亚洲最大的世界级半导体技术研讨会。大会聚焦IC设计、半导体器件与集成、光刻、蚀刻、CMP、封装测试等前沿技术的研究与应用。本届CSTIC汇集近百位世界领先的行业及学术专家,其中包括由诺贝尔物理奖得主、中国社会科学院院士、中国工程院院士、浙江大学院长、复旦大学教授以及来自美国、德国、英国等国家的知名学者、企业家等。
  • 简介:

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  • 简介:摘要:随着科技的不断发展,半导体技术在各行各业的应用日益广泛,尤其在药厂自动化控制系统中的应用备受关注。本文旨在探讨半导体技术在药厂自动化控制系统中的具体应用,分析其在提高生产效率、保障产品质量和节约能源成本等方面的作用。介绍了半导体技术的基本原理及其在自动化控制领域的应用现状;详细分析了半导体传感器、集成电路和智能控制系统在药厂自动化控制中的具体应用情况;探讨了半导体技术在药厂自动化控制系统中存在的挑战与未来发展趋势。通过本文的研究,可以为药厂自动化控制系统的优化与升级提供参考和借鉴。

  • 标签: 半导体技术 药厂 自动化控制系统 传感器 集成电路 智能控制
  • 简介:摘要:半导体工厂建筑工程施工是一个复杂而繁琐的过程,涉及到众多环节和参与者。在这个过程中,质量和安全是两个至关重要的因素。质量管理旨在确保施工过程中的各个环节符合设计和规范要求,从而保证工程质量;安全管理则关注施工过程中人员与环境的安全,以预防事故的发生。本文通过对质量管理与安全管理的比较研究,旨在为半导体工厂建筑工程施工提供一种更科学、高效的管理方式。

  • 标签: 半导体工厂 建筑工程 质量管理 安全管理
  • 简介:摘要:半导体洁净室在半导体生产中扮演着至关重要的角色,其洁净度要求极高,以确保半导体制造过程中的产品质量和良率。而洁净室内二次配管技术是保证其正常工作的重要环节,它的好坏将直接关系到整个系统的工作效能。为了改善半导体洁净室的生产性能,必须充分认识并把握二次配管技术关键环节。

  • 标签: 半导体洁净室 二次配管技术 关键点
  • 简介:摘要:随着半导体技术的快速发展,半导体器件在电子系统中扮演着越来越重要的角色。而在器件制造过程中,压焊工艺作为连接器件与电路的关键步骤,其质量和可靠性直接影响着整个系统的性能和稳定性。因此,对半导体器件压焊过程中的热管理与可靠性进行深入研究,对于提高半导体器件的质量和性能具有重要意义。

  • 标签: 半导体 器件压焊 过程 热管理 可靠性
  • 简介:摘要:随着电子产业的飞速发展,大功率半导体器件在航空航天、能源转换、电动车辆、光伏发电等领域的应用越来越广泛。大功率半导体器件的制造工艺对其性能和可靠性具有决定性的影响。因此,为实现高质量、高效率的制造过程,提高产品可靠性和降低成本,不断探索和引入新的制造工艺技术迫在眉睫。超声波扫描技术是一种基于声波传播原理的非破坏性测试方法,已经在多个领域得到广泛应用。本文将对超声波扫描技术在大功率半导体制造工艺中的应用进行简单探讨。

  • 标签: 超声波扫描技术 大功率半导体 制造工艺 应用
  • 简介:摘要:本论文旨在研究半导体行业洁净室施工过程中的质量监督与验收标准。首先,分析了洁净室施工中可能存在的质量问题,包括施工材料选择不当、工艺控制不严和设备安装调试不到位等方面。随后,通过综合国家标准、行业规范和实际经验,制定了一套完善的监督与验收标准体系,覆盖了施工材料选用、工艺控制、设备调试等多个方面。最后,通过实践应用与效果评估,验证了标准体系的实用性和有效性。

  • 标签: 半导体行业 洁净室 质量监督 验收标准 施工过程
  • 简介:摘要:在航天器、精密电子器件、天文望远镜镜面等高精尖技术领域,工作温度的波动带来的材料热膨胀急剧变化会极大影响精确度和使用寿命。解决这一问题的有效办法是:设计宽温区零/低热膨胀单相化合物。但是,此类化合物比较少,相关物理机制不清晰。因此本文基于框架结构灵活性探索新的宽温区低热膨胀材料,研究其热膨胀机理并表征了其它物理性能。采用固相烧结法制备出单相零/低热膨胀材料Ta2WO8,其在3001000 K的宽温区内表现出零/低热膨胀特性(αl = -1.69×10 K ),并且没有吸水性和相变。Ta2WO8是正交结构,bc平面内TaO7十面体和周围5个TaO6八面体通过共边连接,沿a轴方向氧原子连接2个相同Ta原子形成三维框架结构。温度升高时,Ta3O6八面体与周围多面体形成的菱形隧道具有较大的空间和柔性,氧原子的横向热振动更加明显,带动着Ta3-O9-Ta3键角剧烈收缩从而导致a轴产生负热膨胀,弥补了b轴和c轴的正热膨胀。变压拉曼表明,与Ta-O-Ta键中氧原子平动相关的低频晶格模具有负的格林艾森参数,和氧原子的横向振动共同作用导致了Ta2WO8在3001000 K宽温区的零/低热膨胀。紫外可见漫反射光谱测试和密度泛函理论计算都表明Ta2WO8具有半导体性质。

  • 标签: 负热膨胀,低热膨胀,氧化物半导体,拉曼,晶体结构
  • 简介:摘要:本论文针对高可靠性高速量产大功率半导体器件引线框架关键技术展开研究。通过对传统引线框架的分析和改进,提出了一种新型的设计方案。该方案采用先进的材料和制造工艺,能够提高器件的可靠性和工作速度,并实现大规模量产。通过实验和模拟验证,结果表明该引线框架具有优异的性能和稳定性。研究成果对于促进大功率半导体器件的应用和发展具有重要意义。

  • 标签: 可靠性 引线框架 大功率半导体器件
  • 简介:摘要:该工程为某 12英寸半导体集成电路项目超纯水系统,原水为当地市政自来水,处理能力 450 m3/h,针对 TOC、尿素、电阻率等难点水质指标进行了深度优化设计。

  • 标签: 半导体 集成电路 超纯水制备 有机物
  • 简介:摘要:本文探讨了在半导体工艺中的电气工程自动化与质量控制技术创新。针对传统自动化技术的局限性,提出了基于人工智能和机器学习的创新应用,并讨论了基于数据分析和先进传感器技术的质量控制方法。同时,重点探讨了集成架构设计、数据共享与整合以及性能评估与优化等方面的集成实践。这些创新和集成措施将推动半导体工艺生产过程的智能化、高效化和可持续发展。

  • 标签: 半导体工艺 电气工程自动化 质量控制技术
  • 简介:摘  要本文指出采用准确的CPC分类号结合体现发明构思的进行检索是一种最高效的检索方式,但利用IPC分类号结合进行检索是一种最全面的检索方式,检索时遇到实际案例可灵活运用。

  • 标签: 专利检索 分类号 关键词
  • 简介:前言综合许多专家学者对高科技厂房之见解,其概述性定义为“厂房中所生产产品之科技技术含量较高,或制程需用较多高科技专业知识、专业技术且周边环境的控制条件亦较高”。

  • 标签: 建筑物火灾 半导体厂 防火工程 风险管理 保护 风管
  • 简介:摘要随着国民经济的发展跟城网供电电压等级升高,交联聚乙烯电缆凭借合理的结构、工艺、优良的电气性能等优点,在国内外被越来越广泛的使用。但随着电缆用量的不断增大,各种问题逐渐引起人们的关注,如导体电阻的测量,在生产成本方面,电线电缆的主要投入都在铜导体的使用上,电阻值的高低对于居民的生活影响,对于整个社会发展影响巨大,所以导体电阻的测量显得尤为重要。

  • 标签: 导体电阻 直流电阻 交流电阻 集肤效应
  • 简介:摘要目前,国内不少企业已经对绩效管理提高了重视,将绩效管理作为确保企业战略可持续化发展的有利工具,从而加强了对人员考核的科学化管理。但是,很多企业依旧存在绩效管理混乱的情形管理者无绩效辅导、沟通意识,不知如何正确进行绩效辅导;员工对其低考核分数,不知道具体原因,不知如何改进,企业绩效考核流于形式。笔者所在单位M公司就存在上述问题,管理者对绩效辅导、绩效沟通并无清晰准确认识。因此,本文通过研究绩效辅导的作用、内涵,分析如何进行辅导,如何建设企业绩效辅导体系,以便于企业科学正确地进行绩效管理。

  • 标签: 绩效辅导 绩效沟通
  • 简介:摘要由于各种电气、电子产品的种类繁多,电路的结各不一样,其它各种电路的故障率未作统计。基于这种高比例的原因,笔者从半导体的内部结构、工作过程、及结温产生的机理等方面进行了分析。

  • 标签: 电气 电路 电子产品