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半导体设备中的晶圆搬运机械手应用

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摘要摘要：半导体行业作为现代科技产业的中流砥柱，在信息技术、通信、电子产品等领域发挥着重要作用。晶圆搬运机械手作为半导体设备中不可或缺的关键组成部分，其应用直接影响着生产效率和产品质量。

DOI wjv519r6kd/8269874

作者徐涛

机构地区身份证号码:630102199008282935

出处《建筑实践》 2024年6期

关键词半导体设备晶圆搬运机械手应用

分类 [建筑科学][]

出版日期 2024年05月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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